Высокочастотный источник электронов (нейтрализатор) ВЧН-25 предназначен для использования в составе технологических вакуумных установок совместно с ионными источниками, для минимизации и/или нейтрализации объемного или поверхностного заряда плазмы путем испускания потока электронов, смешиваемого с потоком ионов и образующего пучок квазинейтральной плазмы.
Устройство: В основу работы ИЛТУ ВЧН-25 положен общий принцип создания газового разряда в посредством ВЧ-индуктора с применением вытягивающего электрода. Вокруг разрядной камеры, состоящей из диэлектрического материала, проницаемого для ВЧ-поля, намотана катушка индуктивности. Данная катушка получает переменное напряжение от блока питания, настраиваемое затем с помощью блока согласования.
В разрядную камеру подается рабочий газ через изолятор. Газ ионизируется благодаря возникающему вихревому электрическому полю. Электроны вытягиваются с помощью анода, на который подается положительное напряжение 25 В. Этот же анод служит для поддержания разряда во внутреннем пространстве разрядной камеры.
На коллектор подается отрицательное смещение, которое притягивает к себе положительные ионы, образовавшиеся в разрядной камере. Управляя напряжением коллектора можно регулировать ток эмиссии.
Назначение:
Источники электронов используются в качестве компенсаторов ионных пучков, испускаемыми различными типами и моделями ионно-лучевых устройств. Чаще всего применяется в составе ВЧ-источников ионов
Решаемые задачи:
– источник электронов для компенсации ионного пучка с целью снижения дефектности покрытия
Отзывы
Отзывов пока нет.