Вакуумная установка барабанного типа для одностороннего напыления РС-сплавов методом магнетронного распыления
Особенности:
- Возможность установки до 5-и технологических устройств
- Система нагрева подложек до 350 °С
Технические характеристики:
| Предельное остаточное давление в чистой технологической вакуумной камере | 4х10-4 Па |
| Размер подложки (при использовании стандартного подложкодержателя) | 60×48 мм |
| Максимальное количество подложек в загрузке (при использовании стандартного подложкодержателя) | 57 шт |
| Предельная неравномерность покрытий по толщине | ± 5,0 %
|
| Контроль покрытий | – Система измерения сопротивления «свидетеля»
– Система кварцевого измерения толщины – Контроль по времени |
Технологические устройства:
- Ионно-лучевой источник очистки
Отзывы
Отзывов пока нет.