Aurora®-I

Наклонные вакуумные системы для крупносерийного производства.

 

AURORA-I — это встроенная вакуумная система нанесения покрытий в вертикальном исполнении, в которой подложка загружается на транспортный носитель с углом наклона 7 градусов к вертикальной оси.

Подложки загружаются на транспортный носитель, который движется вдоль всего устройства нанесения покрытия, проходя все ступени вакуумных загрузочных шлюзов и технологических коридоров с возможностью разворота или перехода в другую камеру или возврата в атмосферу для выгрузки подложек.

Такое решение позволяет совместить преимущества вертикальной конструкции (процесс с малым количеством частиц) с преимуществами горизонтальной загрузки, при которой площадь без покрытия по периметру сведена к минимуму или равна нулю.

Это решение имеет следующие преимущества:

• экономия пространства в отношении занимаемой площади;
• возможность организации возвратного трека в вакууме и использования его для технологических устройств
• возможность нанесения двухстороннего покрытия;
• конфигурация системы напыления с малым количеством частиц;
• более длительное время MTBM (среднее время между плановыми периодическими профилактиками);
• стабильность процесса за счет постояннства вакуума и газовой среды.

Основные технологические процессы, реализуемые на установках AURORA:

• ITO и другие TCO-структуры;
• Index match ITO для сенсорной экранов;
• антибликовое покрытие на покровном стекле (AR) в дисплейной промышленности;
• AR и гидро-, олеофобное покрытие против отпечатков пальцев (AR+AF);
• цветное покрытие NCVM на стеклянных и пластиковых подложках (PET);
• металлизация.

Стабильность процесса

Одним из основных преимуществ наших установок линейного типа является исключительная стабильность процесса. Наряду со стандартизированными параметрами, а также четко подобранными и точно контролируемыми цилиндрическими станциями магнетронного распыления компания Изовак достигла исключительной стабильности процесса благодаря разработке транспортной системы, которая перемещает транспортные каретки с НУЛЕВЫМ зазором друг между другом, когда они находятся в зоне напыления. Это решение позволило последовательно стабилизировать условия плазмы и сделать процесс реактивного напыления надежным и воспроизводимым для получения высококачественных просветляющих покрытий.

Ноу-хау

В результате многолетних исследований и разработок в области процессов AR+AF на линейных машинах мы создали вакуумную установку для нанесения покрытий с выдающимися на рынке параметрами износостойкости.

Описание системы нанесения покрытий

Система нанесения покрытий состоит из двух частей:

Вакуумные камеры и столы загрузки/выгрузки (совместимые с системой автоматической загрузки/выгрузки), которые устанавливаются в чистом помещении. Стандартная конструкция AURORA – односторонняя, т.е. загрузка и выгрузка производится с одной стороны, вакуумный коридор имеет прямой и обратный треки  и поворотную или сдвижную камеру, соединяющую их. Опционально AURORA может быть модифицирована до двустороннего типа, когда загрузка и выгрузка производится с противоположных сторон. Подложки закрепляются на транспортных носителях (каретках), которые проходят через несколько шлюзовых камер (многоступенчатое шлюзование) в технологическую камеру (зону напыления), где они движутся с постоянной скоростью и без зазора между собой. Технологические камеры оснащены всем необходимым оборудованием для очистки подложек, нанесения тонкопленочных покрытий и последующей обработки (при необходимости). Управление установкой осуществляется с помощью системы HMI + PLC в полностью автоматизированном режиме.

Система управления может быть интегрирована с системой управления производством (MES).

Доступные версии

По размеру площади покрытия AURORA-I выпускается в следующих модификациях:

• GEN 4.5 с зоной загрузки 650×1200 мм.
• GEN 5 с зоной загрузки 1100×1300 мм.

Могут быть рассмотрены другие варианты (не стандартные).

Производительность

Наряду с размером зоны загрузки основным параметром, определяющим производительность, является время цикла (или такта, как в конвейерном производстве). Это время между двумя соседними транспортными каретками, выходящими на разгрузку продукции.

Для платформы Aurora-I наименьшее время цикла составляет от 45 с.

Доступные процессы нанесения покрытий

Модульная конструкция установки AURORA-I может быть масштабирована и оптимизирована для решения различных производственных задач.

При этом могут использоваться следующие технологические устройства:

• система ионно-лучевой очистки;
• система ВЧ плазменной очистки;
• планарная магнетронная распылительная станция (постоянного или переменного тока);
• цилиндрическая ротационная магнетронная распылительная станция (постоянного или переменного тока);
• ВЧ магнетроны;
• система испарения AF (система нанесения гидро- и олеофобных покрытий);
• оптический контроль.

Тип подложки:

• стекло;
• ПЭТ (или другие пластиковые пленки);
• другой материал по запросу.