Система кварцевого контроля
Устройство «Cristar» предназначено для измерения толщины напыляемых покрытий в составе вакуумно-технологического оборудования. Представляет из себя прецизионный измеритель частоты встроенного генератора, частотозадающий элемент которого в виде кварцевой таблетки находится в вакуумной камере.
В результате технологического процесса, продукты напыления создают тонкую пленку на поверхности кварцевой таблетки, что приводит к изменению ее резонансной частоты. Это изменение частоты измеряет «Cristar» и передает данные по интерфейсу RS-485 на контроллер установки. Также данные отображаются на собственном дисплее устройства. По полученной информации контроллер вычисляет толщину пленки и скорость напыления.
Устройство имеет гальваническую развязку входной части, а также гальваническую развязку интерфейса RS-485. В устройстве используется целый ряд защит линий интерфейса от переходных процессов и выбросов высокого напряжения. По цепи питания устройство имеет фильтр подавления высокочастотных помех, защиту от выбросов напряжения и переполюсовки. Реализовано три канала измерения. В каждый момент времени активен только один, выбор конкретного канала производится удаленным контроллером.
Технические характеристики:
| Параметр | Значение |
| Напряжение питания | 5 VDC |
| Потребляемый ток | 500 mA |
| Интерфейс | RS-485 |
| Габариты | 100х60х35 мм |
| Вес | 120 г |
| Температура хранения | -20…50 °C |
| Рабочая температура | 15…40 °C |
| Относительная влажность | Макс. 80% при температуре до 30 °C Макс. 50% при температуре выше 30 °C |
| Размещение | Только внутри помещений |
| Измеряемый параметр | Частота |
| Разрешение по частоте | 0.01 Hz |
| Частота кварцевой таблетки | 6 MHz |
| Стабильность | 0.5 ррm |
Отзывы
Отзывов пока нет.