Цилиндрические ротационные МРУ

Магнетронное распыление — это технология нанесения тонких плёнок в вакуумной камере и среде рабочего газа с помощью катодного распыления материала мишени в скрещенных электрических и магнитных полях.

В качестве мишени в магнетронах постоянного и переменного тока средней частоты используются электропроводящие материалы: проводники и полупроводники. Использование магнитных материалов ограничено толщиной мишени и требует применения специальной магнитной системы. Для распыления диэлектрических материалов служит ВЧ-исполнение магнетрона, к которому потребуется также ВЧ-генератор и блок согласования, настроенный на применяемую разрядную систему.

Назначение:

Цилиндрические ротационные магнетроны используются в вакуумных установках периодического и непрерывного действия с размерами подложек до 3х и более метров. Особенно востребованы такие магнетроны в вакуумном оборудовании для серийного и массового производства, где важны такие параметры, как время жизни мишени и долговременная стабильность процессов нанесения покрытий.

Решаемые задачи:

–   нанесение функциональных покрытий в производстве дисплеев, производстве сберегающих, электрохромных архитектурных стекол, солнечных элементов и др.;

–   нанесение функциональных покрытий: оптических, токопроводящих, защитных, диэлектрических, электрохромных, металлизация поверхности пластмассовых и стеклянных изделий и др.

Используется в Versus-74, Aurora.

Технические характеристики: