Линейные ионные источники модели «Луч»

Ионно-лучевая обработка поверхности определяется явлениями и эффектами, происходящими в результате воздействия пучка ионов определенной природы с заданной энергией и плотностью потока ионов на обрабатываемый объект.

Ионы рабочего газа образуются в скрещенных электрических и магнитных полях, а их ускорение или энергию определяет разность потенциалов в промежутке анод-катод. Ионы, образованные в результате ионизации рабочего газа и дрейфующие электроны в замкнутом магнитном поле создают прианодный слой, а устройства с подобным принципом называются ускорителями с анодным слоем.

Назначение:

Линейные ускорители с анодным слоем нашли широкое применение в вакуумных установках постоянного и периодического действия в различных технологических процессах при работе с широкоформатной подложкой от 250 мм до 3 м и более, связанных с очисткой, полировкой и активацией поверхности, прецизионным ионно-лучевым травлением материалов, нанесением пленок на подложку, ионным ассистированием различным методам нанесения покрытий в вакууме. Наиболее эффективно использовать очистку пучком ионов непосредственно перед операцией нанесения пленок (без разгерметизации вакуумной системы) в едином вакуумном цикле.

Решаемые задачи:

• очистка и активация поверхности;
• прецизионное полирование;
• нанесение функциональных покрытий высокой плотности: защитных, диэлектрических, алмазоподобных, пленочных композиций сложного состава, практически из любых материалов;
• прецизионное травление (минимальные размеры элементов менее 0,2 мкм с точностью 0,05 мкм); отношение высоты к ширине ступеньки превышает 30:1; изменение угла наклона пучка к обрабатываемой поверхности позволяет управлять профилем ступеньки и конфигурацией канавок.

Используется в оборудовании Diamanta, Elato, Atis, Ortus, Izolab, Izomet.

Технические характеристики: