Источник электронов представляет собой нейтрализатор на базе инверсного магнетрона с газовым разрядом и предназначен для компенсации пространственного заряда ионного пучка.
В рабочем объеме, ограниченном цилиндрической графитовой мишенью, формируется магнетронный разряд благодаря взаимодействию технологического газа и скрещенных магнитных и электрических полей. Замкнутые линии магнитного поля локализуют плазму на поверхности мишени-катода. Электроны, испускаемые с поверхности катода и генерируемые в плазме ионной бомбардировке, ускоряются по направлению к ионному пучку и компенсируют его.
Назначение:
Источники электронов используются в качестве компенсаторов ионных пучков, испускаемыми различными типами и моделями ионно-лучевых устройств.
Решаемые задачи:
– источники электронов для инициации разрядов некоторых ионных источников или компенсации зарядов ионов на подложке для снижения дефектности покрытий.
Используется в Diamanta.
Технические характеристики:
| Характеристика | Номинально | Опционально |
| Тип источника | цилиндрический инверсный магнетрон | |
| Рабочее давление | 0,06 ÷ 2 Па | |
| Материал мишеней | графит | по запросу |
| Размер мишени | Ø20×30 мм | по запросу |
| Анод | нет | замагниченный, скрытый и пр. |
| Магнитная система | постоянные магниты NdFeB+2xNi | |
| Охлаждение мишени | косвенное | |
| Питание | DC, DC-pulse, MF-AC | RF, HiPIMS |
| Удельная максимальная мощность DC/DC-pulse/MF-AC |
15 Вт/см² | |
| Удельная максимальная мощность RF | 3 Вт/см² | |
| Коэффициент использования мишени | 15…40 % | >45 % |
| Поток газа (зависит от откачки) | 5…50 см3/мин | |
| Межпрофилактический ресурс | 120 ч | |
| Охлаждение | проточная вода | |
| Температура воды | 18…25 °C | |
| Давление воды | от 2 до 4 атм | |
| Проток воды | >0,7 л/мин/кВт | |
| Рабочие газы | Ar, O2 и др. | |
| Чистота рабочих газов | 99.99 % | |
Отзывы
Отзывов пока нет.