Система автоматического широкополосного оптического контроля процесса напыления
Особенности:
- Полная автоматизация процесса напыления сложных многослойных покрытий
- Оптимизация структуры покрытия в процессе напыления
Основной режим контроля – измерение оптического пропускания на подложке (свидетеле), расположенном непосредственно на вращающемся подложкодержателе (прямое измерение). Спектрометр измеряет реальный спектр покрытия во всем рабочем диапазоне после каждого оборота подложкодержателя
Алгоритмы оптимизации контролируют текущий результат в процессе напыления и в случае отклонений на предыдущих слоях производят пересчет структуры и вводят коррекции на следующие слои для нивелирования предыдущих отклонений.
Технические характеристики:
| Спектральный поддиапазон | 380×1080 нм | 1080х1650 нм | 220х380 нм |
| Спектральное разрешение | 0,5 нм | 5,0 нм | 0,5 нм |
| Точность определения длины волны | ± 0,2 нм | ± 1,0 нм | ± 0,2 нм |
| Повторяемость длины волны | ± 0,1 нм | ± 0,5 нм | ± 0,1 нм |
| Методы контроля | Прерывистый (прямое измерение): пропускание
Непрерывный (косвенное измерение): пропускание, отражение, отражение от обратной стороны |
||
| Датчик | CMOS (Hamamatsu) | ||
| Источник света | Стабилизированная по току галогеновая лампа | Дейтериевый | |
| Программное обеспечение для дизайна покрытий | OptiLayer, IzoSpectra, FilmStar,
MS Excel, Essential Macleod |
||
| Передача данных | OPC UA
Modbus TCP/IP Другие по запросу |
||
| Устройство смены свидетелей | 8 – позиционное устройство смены свидетелей, объединённое с 4-позиционным устройством смены кварцевых кристаллов | ||
Отзывы
Отзывов пока нет.