Магнетронное распыление — это технология нанесения тонких плёнок в вакуумной камере и среде рабочего газа с помощью катодного распыления материала мишени в скрещенных электрических и магнитных полях.
В качестве мишени в магнетронах постоянного и переменного тока средней частоты используются электропроводящие материалы: проводники и полупроводники. Использование магнитных материалов ограничено толщиной мишени и требует применения специальной магнитной системы. Для распыления диэлектрических материалов служит ВЧ-исполнение магнетрона, к которому потребуется также ВЧ-генератор и блок согласования, настроенный на применяемую разрядную систему.
Назначение:
Прямоугольные магнетроны используются в вакуумных установках периодического и непрерывного действия с размерами подложек до 3 и более метров
Решаемые задачи:
– производство оптических, полупроводниковых приборов, тонкопленочных гибридных интегральных схем, изделий пьезотехники, акустоэлектроники;
– нанесение функциональных покрытий: оптических, токопроводя-щих, защитных, диэлектрических, металлизация поверхности пластмассовых и стеклянных изделий и др.
Используется в Gyratiz, Atis, Versus-74.
Технические характеристики:
| Характеристика | Номинально | Опционально |
| Тип источника | планарный прямоугольный | |
| Рабочее давление | 0,2 ÷ 2 Па | |
| Материал мишеней | немагнитные, электропроводящие материалы и полупроводники (Si, Ge и пр.) | магнитные материалы, диэлектрики |
| Ширина мишени | 65, 88, 101.6, 127, 152.4, 203.2, 254, 304.8 мм | по запросу |
| Длина мишени | по запросу | |
| Анод | есть | замагниченный, скрытый и пр. |
| Магнитная система | постоянные магниты NdFeB+2xNi | |
| Газораспределитель | нет | есть |
| Охлаждение мишени | косвенное | прямое |
| Питание | DC, DC-pulse, MF-AC | RF, HiPIMS |
| Удельная максимальная мощность DC/DC-pulse/MF-AC |
15,5 Вт/см² | 38,8 Вт/см² |
| Удельная максимальная мощность RF | 5,2 Вт/см² | 12,9 Вт/см² |
| Коэффициент использования мишени | 15…40 % | >45 % |
| Поток газа (зависит от откачки) | 50…250 см3/мин | |
| Межпрофилактический ресурс | 50 ч | |
| Охлаждение | проточная вода | |
| Температура воды | 18…25 °C | |
| Давление воды | от 2 до 4 атм | |
| Проток воды | >0,7 л/мин/кВт | |
| Рабочие газы | Ar, O² и др. | |
| Чистота рабочих газов | 99.99 % | |
Отзывы
Отзывов пока нет.