Индуктивный ВЧ разряд возбуждается током, текущим по водоохлаждаемому индуктору (антенне). ВЧ мощность, приложенная к индуктору, создаёт вихревое электрическое поле в вакуумной камере, которое и обеспечивает генерацию плазмы. В индуктивном ВЧ разряде низкого давления мощность ВЧ-генератора распределяется между активным сопротивлением внешней цепи и плазмой, причем в плазму мощность поступает по двум каналам: индуктивному, существующему благодаря току, текущему по индуктору (антенне), и емкостному, обусловленному наличием емкостной связи между антенной и плазмой.
Изделие представляет собой плоскую (планарную) или цилиндрическую систему безэлектродного высокочастотного индукционного разряда. Система сеток может применяться для экстракции (вытягивания) ионов заданной энергии.
Назначение:
ВЧ-источники плазмы предназначены для инициации и поддержания плотной, низкоэнергетичной плазмы или потока моноэнергетичных ионов с высокой однородностью в вакуумном технологическом оборудовании.
Решаемые задачи:
- анизотропное травление субмикронных структур в резисте в производстве микроэлектроники;
- алмазо-химическое осаждение бездефектных функциональных диэлектрических слоев оптики, полупроводниковых приборов, тонкопленочных гибридных интегральных схем;
- синтез полимерных покрытий и новых материалов;
- анализ материалов в масс-спектрометрии с применением индуктивно-связанной плазмы;
- модификация диэлектрических поверхностей с целью придания новых свойств таких, как например гидрофильность.
Используется в оборудовании Lidiz.
Технические характеристики:
| Характеристика | Номинально | Опционально |
| Тип источника | ВЧ-источник индуктивно-связанной плазмы | |
| Рабочее давление | 0,05 ÷ 100 Па | |
| Диаметр пучка | 80, 120, 180 мм | по запросу |
| Расположение цилиндрической антенны | на атмосфере | по запросу |
| Диаметр планарной антенны | 200 мм | по запросу |
| Материал сеток (при наличии) | Mo, Ti | по запросу |
| Питание | RF (13,56MHz) | по запросу |
| Плотность ионного тока на подложке | <15 мА/см2 | |
| Максимальная мощность | <2000 Вт | |
| Поток газа (зависит от откачки и размеров рабочей камеры) | 5…50 см3/мин | |
| Охлаждение | индуктор – проточная вода, разрядная камера цилиндрической антенны – принудительное воздушное | |
| Температура воды | 18…25 °C | |
| Проток воды | >0,7 л/мин/кВт | |
| Рабочие газы | Ar, O2 и др. | |
| Чистота рабочих газов | 99.99 % | |
Отзывы
Отзывов пока нет.