Кольцевые ионные источники модели «Луч»

Ионно-лучевая обработка поверхности определяется явлениями и эффектами, происходящими в результате воздействия пучка ионов определенной природы с заданной энергией и плотностью потока ионов на обрабатываемый объект.

Ионы рабочего газа образуются в скрещенных электрических и магнитных полях, а их ускорение или энергию определяет разность потенциалов в промежутке анод-катод. Ионы, образованные в результате ионизации рабочего газа и дрейфующие электроны в замкнутом магнитном поле создают прианодный слой, а устройства с подобным принципом называются ускорителями с анодным слоем.

Назначение:

Кольцевые ускорители с анодным слоем нашли применение в установках периодического действия и различных технологических процессах при работе с подложками до 250 мм, связанных с очисткой, полировкой и активацией поверхности, прецизионным ионно-лучевым травлением материалов, нанесением пленок на подложку, ионным ассистированием различным методам нанесения покрытий в вакууме. Наиболее эффективно использовать очистку пучком ионов непосредственно перед операцией нанесения пленок (без разгерметизации вакуумной системы) в едином вакуумном цикле.

Решаемые задачи:

• очистка и активация поверхности;
• прецизионное полирование;
• нанесение функциональных покрытий высокой плотности: защитных, диэлектрических, алмазоподобных, пленочных композиций сложного состава, практически из любых материалов.

Технические характеристики: