Торцевой холловский бессеточный ускоритель модели «Стрелок»

Ионно-лучевая обработка поверхности определяется явлениями и эффектами, происходящими в результате воздействия пучка ионов определенной природы с заданной энергией и плотностью потока на обрабатываемый объект.

Ионные источники типа торцевой холловский ускоритель формируют интенсивные (высокой плотности) низкоэнергетичные потоки ионов в вакууме.  Источник создаёт конический расходящийся поток ионов рабочего газа.

Назначение:

Ионный источник модели «Стрелок» предназначен для использования в составе технологических вакуумных установок для ассистирования процесса осаждения покрытий на поверхности подложек низкоэнергетичными ионами инертных или реакционноспособных газов. Ионный источник модели «Стрелок» может применяться в технологических процессах ионной очистки, реактивного ионного травления, синтеза покрытий из газовой фазы и др.

Решаемые задачи:

В производстве изделий оптики, микроэлектроники, машиностроения, медицины для низкоэнергетичной (щадящей) ионной очистки подложек и ассистирования процессов нанесения пленочных покрытий методами испарения и распыления в вакууме, а также для синтеза покрытий из газовой фазы, реактивного травления, осуществления плазмохимических реакций (подкисление, нитрирование) и других технологических процессов, а также для научных исследований.

Используется в Elato и Ortus.

Технические характеристики: