Astra-M

Горизонтальные вакуумные системы непрерывного действия (линейные) для крупносерийного производства

 

ASTRA-M — это вакуумная система линейного (конвейерного) типа , предназначенная для  нанесения покрытий на основе магнетронного распыления с горизонтальной загрузкой подложек.

Главной отличительной особенностью является загрузка подложки в горизонтальном положении. Подложка загружается на транспортную каретку, которая движется по всей установке в одном направлении, проходя через несколько ступеней вакуумных шлюзов и технологический коридор. В конце установки каретки выходят на атмосферу систему шлюзов. В зону загрузки носители возвращаются по обратному конвейеру, работающему на атмосфере. Для экономии места в стандартном исполнении обратному конвейеру располагается под технологическими камерами.

Данное решение имеет следующие преимущества:

• отсутствие непокрытых участков (участков без напыления) на подложке;
• простота загрузки, простота автоматизации;
• гибкость конструкции возвратного конвейера, позволяющая легко интегрировать его в автоматизированную установку;
• возможность нанесения двухстороннего покрытия;
• стабильность процесса за счет постоянного вакуума и газовой среды.

Недостатком является конструкция напыления сверху вниз, что приводит к риску попадания на подложку частиц от магнетронных станций. Для устранения этой проблемы сокращается период между профилактиками (MTBM).

Производительность

Наряду с размером зоны загрузки основным параметром, определяющим производительность, является время цикла (или такта, как в конвейерном производстве). Это время между двумя соседними транспортными каретками, выходящими на разгрузку продукции.

Для платформы ASTRA-M наименьшее время цикла составляет от 45 с.

Основные технологические процессы, реализуемые на установках ASTRA–M:

• ITO и другие TCO-структуры;
• Index match ITO для сенсорной экранов;
• антибликовое покрытие на покровном стекле (AR) в дисплейной промышленности;
• AR и гидро-, олеофобное покрытие против отпечатков пальцев (AR+AF);
• цветное покрытие NCVM на стеклянных и пластиковых подложках (PET);
• металлизация.

Стабильность процесса

Одним из основных преимуществ наших установок линейного типа является исключительная стабильность процесса. Наряду со стандартизированными параметрами, а также четко подобранными и точно контролируемыми цилиндрическими станциями магнетронного распыления компания Изовак достигла исключительной стабильности процесса благодаря разработке транспортной системы, которая перемещает транспортные каретки с НУЛЕВЫМ зазором друг между другом, когда они находятся в зоне напыления. Это решение позволило последовательно стабилизировать условия плазмы и сделать процесс реактивного напыления надежным и воспроизводимым для получения высококачественных просветляющих покрытий.

Описание системы нанесения покрытий

Напылительная установка состоит из 2-х частей: вакуумных камер и загрузочно-разгрузочных столов (можно настроить под систему автоматизации), которые устанавливаются в чистом помещении. Стандартная конструкция ASTRA односторонняя, то есть загрузка и разгрузка производится с одной стороны, а в торцах установки расположены подъемники, которые перемещают каретки из вакуумных камер на возвратный конвейер и обратно. Опционально ASTRA-M может быть модифицирована для двустороннего исполнения, когда загрузка и выгрузка производятся с противоположных сторон. Возвратный конвейер имеет пылезащищенную  закрытую конструкцию, поэтому вся может быть установлена в машинной зоне. Подложки загружаются на транспортные каретки, которые проходят через камеру вакуумного загрузочного шлюза в рабочую камеру (зону напыления), где они перемещаются с постоянной скоростью и без зазора между собой. Технологические камеры оснащены всеми необходимыми технологическими системами для очистки подложек, тонкопленочного покрытия и постобработки при необходимости. Управление ASTRA-M осуществляется из системы HMI + PLC в полностью автоматизированном режиме. Система управления может быть интегрирована с системой управления производством (MES).

Доступные версии

По размеру площади покрытия ASTRA-M выпускается в следующих модификациях:

• GEN 4.5 с зоной загрузки 800х1100 мм.

Могут быть рассмотрены другие варианты (не стандартные).

Доступные процессы нанесения покрытий

Модульная конструкция установки ASTRA может быть масштабирована и оптимизирована для решения различных производственных задач.

При этом могут быть использованы следующие технологические устройства:

• система ионно-лучевой очистки;
• система ВЧ плазменной очистки;
• планарная магнетронная распылительная станция (постоянного или переменного тока);
• цилиндрическая ротационная магнетронная распылительная станция (постоянного или переменного тока);
• ВЧ магнетроны;
• система испарения AF (система нанесения гидро- и олеофобных покрытий);
• оптический контроль.

Тип подложки:

• стекло;
• ПЭТ (или другие пластиковые пленки);
• другой материал по запросу.