Astra-S

Горизонтальные вакуумные системы непрерывного действия (линейные) для лабораторных и мелкосерийных производств

 

ASTRA-S – это вакуумная система нанесения покрытий на основе магнетронного распыления с горизонтальной загрузкой подложек. В базовой конфигурации она работает по принципу установки периодического нанесения покрытий (когда каждая загрузка производится после выгрузки предыдущего носителя), но может быть модифицирована в поточный режим с непрерывным производством с заданным временем циклом.

Подложка горизонтально загружается на транспортную каретку, которая перемещается от загрузочного стола в технологическую камеру через загрузочный вакуумный шлюз. В технологической  камере каретка с подложкой совершает сканирующие движения перед технологическим устройством (магнетронной станцией, станцией ионно-лучевой очистки и т.д.). После завершения процесса каретка возвращается на атмосферу для разгрузки.

Идея установки ASTRA-S заключается в следующем:

– создать маленькую установку для нанесения покрытий, которая повторяет и выполняет точно такие же условия нанесения покрытия, как и линейная установка для массового производства; это дает возможность производить разработку технологического процесса и настройку производства в аналогичных условиях и, следовательно, запускать серийное производство нового процесса с минимальными временными потерями;

– предложить решение, которое может развиваться вместе с бизнесом заказчика, начиная с лаборатории. Идея заключается в модификации производственной установки для нанесения покрытий с высокой пропускной способностью.

Производительность

Как лабораторная установка с возможностью модификации для мелкосерийного производства ASTRA-S в базовой версии работает в так называемом сканирующем режиме. В этом случае производительность зависит от толщины слоя (количества сканов).

Благодаря модульной конструкции ASTRA-S может быть расширена за счет установки дополнительных технологических камер и загрузочного шлюза на конце, что позволяет трансформировать лабораторную установку для нанесения покрытий в производственную.

Описание установки для нанесения покрытий

Система нанесения покрытий ASTRA-S состоит из одного загрузочного стола и вакуумных камер (загрузочной и технологической), которые установлены в чистом помещении. Базовая конструкция ASTRA-S – односторонняя, то есть загрузка и выгрузка производится с одной стороны. Это означает, что в базовой конфигурации установка работает в режиме периодического действия, когда новая загрузка производится только после полного завершения предыдущей. Опционально машина может быть модифицирована для двухстороннего исполнения, когда загрузка и выгрузка производится с противоположных сторон, а процесс нанесения покрытия осуществляется в поточном режиме с заданным временем цикла.

Таким образом, базовая конфигурация ASTRA-S может быть модифицирована в линейную машину для нанесения покрытий с существенным увеличением производительности.

Подложки загружаются на транспортную каретку, которая проходитт через вакуумную шлюзовую камеру в технологическую(зону напыления). В технологической камере каретка совершает сканирующие движения перед магнетронной системой для получения покрытия необходимой толщины.

Технологические камеры при необходимости могут быть оснащены всеми необходимыми технологическими системами для очистки подложек, нанесения тонкопленочных покрытий и последующей обработки.

Управление установкой осуществляется с помощью системы HMI + PLC в полностью автоматизированном режиме.

Доступные версии

По размеру площади покрытия ASTRA-M выпускается в следующих модификациях:

• GEN 2 с зоной загрузки 370×420 мм.

Могут быть рассмотрены другие варианты (не стандартные).

Доступные процессы нанесения покрытий

Модульная конструкция установки ASTRA может быть масштабирована и оптимизирована для решения различных производственных задач.

При этом могут быть использованы следующие технологические устройства:

• система ионно-лучевой очистки;
• система ВЧ плазменной очистки;
• планарная магнетронная распылительная станция (постоянного или переменного тока);
• цилиндрическая ротационная магнетронная распылительная станция (постоянного или переменного тока);
• ВЧ магнетроны;
• оптический контроль.

Тип подложки:

• стекло;
• ПЭТ (или другие пластиковые пленки);
• другой материал по запросу.