Планарные круглые МРУ

Магнетронное распыление — это технология нанесения тонких плёнок в вакуумной камере и среде рабочего газа с помощью катодного распыления материала мишени в скрещенных электрических и магнитных полях.

В качестве мишени в магнетронах постоянного и переменного тока средней частоты используются электропроводящие материалы: проводники и полупроводники. Использование магнитных материалов ограничено толщиной мишени и требует применения специальной магнитной системы. Для распыления диэлектрических материалов служит ВЧ-исполнение магнетрона, к которому потребуется также ВЧ-генератор и блок согласования, настроенный на применяемую разрядную систему.

Назначение:

Круглые магнетроны используются в вакуумных лабораторных установках и установках периодического действия с размерами подложек до 250 мм.

Решаемые задачи:

–   производство оптических, полупроводниковых приборов, тонкопленочных гибридных интегральных схем, изделий пьезотехники, акустоэлектроники;

–   нанесение функциональных покрытий: оптических, токопроводящих, защитных, диэлектрических, металлизация поверхности пластмассовых и стеклянных изделий и др.

Используется в Elato, Atis, Smart, Izolab

Технические характеристики: