Серия Atis®

Серия вакуумных установок «Atis» предназначена для нанесения тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления, резистивного испарения с предварительной ионно-лучевой очисткой. Опционально возможно применение системы электронно-лучевого испарения.
Широкий выбор вариантов комплектации вакуумной установки позволяет максимально гибко подобрать требуемую конфигурацию установки для решения конкретных задач заказчика.