Серия Ultra®

Установки с технологией плазмохимического осаждения и травления

Плазмохимичекие процессы проводятся путем активации рабочих газов плазмой емкостного разряда (CCP) или плазмой индукционного разряда (ICP).
Установки серии ULTRA предназначены для R&D-лабораторий и мелкосерийного производства изделий оптики, фотовольтаики, оптоэлектроники, МЭМС, силовой электроники и микроэлектроники.