Diamanta®

Вакуумная установка с технологией ионно-лучевого плазмохимического осаждения алмазоподобных покрытий (DLC)

 

Вакуумная установка «DIAMANTA» предназначена для нанесения износостойких просветляющих алмазоподобных (DLC) покрытий в ИК –диапазоне (на области 3-5 мкм и 7-14 мкм) на кремниевые и германиевые подложки.

Метод нанесения – химическое осаждение алмазоподобных покрытий из газовой фазы, стимулированное плазмой ионного источника.

 

Применение:

• Приборы ночного виденья
• Тепловизоры
• Пирометры
• Оптические системы для объективов

 

Технологические устройства:

• Ионно-лучевой источник осаждения
• Ионно-лучевой источник очистки

 

Особенности:

• Уникальная технология нанесения алмазоподобного покрытия
• Система одноволнового оптического контроля
• Шлюзовая камера
• Полная автоматизация процесса

 

Технические характеристики:

Максимальный размер подложки	380х410 мм
Максимальная толщина подложки	45 мм
Время достижения предельного вакуума, не более	10 ч
Предельное остаточное давление в чистой технологической вакуумной камере	8х10-4 Па
Время достижения начала процесса давления 5х10-3 Па в чистой камере от начала высоковакуумной откачки (после открытия затвора)	20 мин
Неравномерность толщины покрытия площадью 330х350 мм²	<± 1,0 %
Масса, не более	2000 кг
Минимальная продолжительность цикла нанесения покрытия для диапазона 3-5 мкм	2,5 ч
Минимальная продолжительность цикла нанесения покрытия для диапазона 8-12 мкм	5 ч